人材不足の半導体製造装置・部材業界、AIで生産効率化急げ

顧客サポートで活用も

大日本印刷はAIを使ってフォトマスクの生産効率化を図る

 IoT(モノのインターネット)や人工知能(AI)の普及に伴い、半導体製造に使う装置や部材の需要が増加する中、半導体製造装置・部材メーカーもIoTやAIを駆使して生産や顧客サポート体制を強化している。大日本印刷は半導体製造に使う部材の生産をAIで効率化する。キヤノンは顧客サポートでのAI活用を始めた。ウシオ電機は装置の故障防止や機能改善などにAIを導入する。  大日本印刷は回路を半導体ウエハーに転写する際の原版「フォトマスク」の生産現場でAIの活用を2018年から本格化する。フォトマスクの製造装置の稼働状況などをIoTセンサーで取得する。取得した情報はAIで解析し、故障の予知保全や装置のメンテナンス間隔の延長につなげる。  装置のメンテナンスは数週間から数カ月に1回程度、定期的に実施しているが、メンテナンスに数日かかるものもあるという。AIで効果的なメンテナンス間隔を装置ごとに算出できれば、生産性向上につながる。  17年にフォトマスクの生産に使う主要装置の2割を対象にAIを導入し、突発故障の削減や定期メンテナンス間隔の延長を実現した。異物の数が減るといった品質向上にも効果があったことから、18年から対象となる装置を5割以上に広げてモニタリングする。  キヤノンは半導体露光装置のフィールドサポートでAIの活用を始めた。今後は電話で現場の顧客に対して適切なガイダンスをしたり、サービス部門が顧客の拠点で行うべきサポート内容などについて、効率よく最適な解を導けるシステム構築を目指す。  ウシオ電機は、半導体露光装置の稼働率を維持・向上するために2―3年以内にAIを導入する。顧客との契約に基づき、半導体露光装置に搭載したセンサーで装置の異常などの情報を取得する。取得したデータは、故障を未然に防ぐことのほか、装置の機能改善などに役立てられる。

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