ＳＣＲＥＥＮホールディングスは７日、最大毎時１２００枚の実用処理が可能で省スペース化も実現した枚葉式洗浄装置「ＳＵ―３４００＝写真」を発売したと発表した。半導体回路の微細化や高集積化に伴い、高い洗浄度や安定した処理能力を併せ持つ洗浄装置を使いたいニーズに対応する。既存品からの置き換えに加えて、高性能化に伴いバッチ式から枚葉式に転換する新規顧客獲得も視野に入れる。

新製品は洗浄処理チャンバーを小型化し、１タワーに搭載可能なチャンバー数を４段から６段にした。従来品と同じ２４チャンバーを搭載しながら、設置面積は従来品比約３割削減した。装置内でウエハーを搬送するロボットの動かし方や配置を刷新し、最大毎時１２００枚の実用処理能力を実現した。洗浄ノズルの改良などで薬液使用量も節減し、環境負荷低減に寄与する。

同社によると、特にメモリー向けでは複数のウエハーをまとめて処理するバッチ式から１枚ずつ処理する枚葉式への転換が見込まれるという。