米コーネル大学などは太陽電池と制御回路チップを組み込み、本体だけで自律的に歩行する微小ロボットを開発した。３種類あり、大きさは髪の毛数本分に相当する１００マイクロ―２５０マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）。概念実証（ＰｏＣ）の段階だが、メモリーやセンサーのほか新たな機能を付加することで、医療や環境修復などの分野への応用を目指すとしている。

光リソグラフィー手法により、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）ウエハーに約１０００個のトランジスタからなる１００マイクロ×６０マイクロメートルのクロック回路と太陽電池を作製。回路の発する周期的な矩形波により、アクチュエーターの脚を交互に動かす。歩行速度は毎秒１０マイクロメートル以上という。

２足タイプと４足タイプのほか、アリのように３本ずつ足を動かす６足歩行の３種類ある。４足タイプでは照射する光信号によって制御周波数を変化させ、歩行を速められた。

成果は米科学誌サイエンスロボティクスに掲載された。