半導体の需要が増え続ける「スーパーサイクル」に再突入したことを背景に、半導体製造装置市場の活況が続いている。２０１７―１８年の第１次に続く２回目の突入で、第５世代通信（５Ｇ）の普及やデータセンターなど向けの先端半導体需要がけん引し、２０―２２年は３年連続で市場拡大が続く見通しだ。自動車の減産を招いている車載用半導体の供給不足も、中長期では追い風になりそうだ。装置各社は強気の姿勢を示す。（張谷京子、編集委員・鈴木岳志、京都・大原佑美子）

５Ｇ・ＩｏＴ需要追い風

従来、半導体産業は好不況を３―５年で繰り返す「シリコンサイクル」が起こることで知られる。しかし、ＩｏＴ（モノのインターネット）の技術革新により、１７―１８年にはスーパーサイクルに昇華。１９年には米中貿易摩擦の不透明感などが要因でマイナス成長に転じたものの、２０年以降は再びスーパーサイクルに突入した。

半導体製造装置・材料の国際団体である米ＳＥＭＩは、２１年の世界半導体製造装置販売額が前年比４・３％増の７１９億ドル（約７兆５０００億円）になると予測する。２２年は同５・９％増。２０―２２年は、３年連続で成長が続く見通しだ。

「ロジック・ファウンドリー（半導体受託製造）の旺盛な投資に加え、５Ｇスマートフォンの普及とデータセンター投資の増加にけん引され、メモリー投資の回復が見込まれる」。東京エレクトロンの河合利樹社長は、２１年の半導体前工程製造装置（ＷＦＥ）市場の景況感をこう語る。２１年の同市場は前年比約２０％成長し、過去最高だった２０年をさらに上回ると予想する。

同社は、ＩｏＴや５Ｇ向けなど最先端の半導体需要の増加を背景に、２１年３月期の半導体製造装置（ＳＰＥ）事業の売上高を２０年１０月公表比６００億円増の１兆２８００億円に上方修正した。

ＳＣＲＥＥＮホールディングス（ＨＤ）も、２１年３月期のＳＰＥ事業の売上高、営業利益を２０年１０月公表比でそれぞれ１０億円上方修正。洗浄装置などの生産拠点「Ｓキューブ３」（滋賀県彦根市）の既存設備がフル稼働の状態だ。

半導体装置メーカーの業績は総じて堅調だ。アドバンテストは、試験装置など半導体・部品テストシステム事業の２１年３月期売上高を２０年１０月公表比２７０億円増の２０１０億円に上方修正した。半導体ウエハーの切断・研磨装置などを手がけるディスコも「６月までフル生産が継続しそうな情勢」（広報）だ。

米政府による中国通信機器大手・華為技術（ファーウェイ）への半導体輸出規制強化を受け、一時は慎重な投資姿勢を見せていた半導体後工程請負業（ＯＳＡＴ）の投資意欲も回復している。競合スマホメーカーが増産に動き、半導体需要が補完されたからだ。

ＯＳＡＴがファーウェイに振り向けていた設備は余剰になってしまったが、現在は「中国スマホメーカー間のシェア競争がその余剰分の急速な解消を促している」とアドバンテストの吉田芳明社長は分析。ファーウェイショックからの回復に胸をなで下ろす。

半導体大手、大規模投資続く

世界の半導体大手は２１年も大規模な設備投資を継続する。ファウンドリー世界最大手の台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）は２１年１２月期に過去最高の２８０億ドル（約２兆９０００億円）を投じる。台湾での先端半導体の生産能力増強のほか、米アリゾナ州の新工場建設にも振り向ける。

ＴＳＭＣと技術開発を競う韓国サムスン電子も先端半導体の受託製造強化へ積極投資する方針。先端開発で２社に後れを取る米インテルが今後外部への生産委託を拡大するため、その受け皿は当然台韓２社に限られる。

日本勢ではＮＡＮＤ型フラッシュメモリーのキオクシア（旧東芝メモリ）が、主力の四日市工場（三重県四日市市）と北上工場（岩手県北上市）で新棟建設計画を異例の同時並行で進めている。

イメージセンサーが主力のソニーも長崎県諫早市にある既存工場の隣接地に新しい製造棟を建設中だ。「２１年のイメージセンサー世界市場はプラス成長を見込んでいる。５Ｇスマホに加えて、車載やノートパソコン、監視カメラ、家電などでカメラ搭載が増えて、市場全体は伸びる」（英調査会社オムディアの杉山和弘コンサルティングディレクター）と種類を問わず半導体需要は旺盛のようだ。

車載用、世界で供給不足

全世界で自動車の減産を招いている車載用半導体の供給不足も、装置市場にとってはプラスだ。特に、既存装置の機能を向上する「改造サービス」の増加につながる可能性がある。

半導体メーカーにとって、車載用半導体の急ピッチでの増産が求められる中、新たに装置を購入して生産体制を整えるには時間がかかる。このため、既存装置を改造し、再利用したいニーズが出てくるもようだ。

実際、東京エレクトロンの２０年１０―１２月期のＳＰＥ向けフィールドソリューション（ＦＳ）事業は、装置の改造サービスが急伸し、７―９月期比１４・５％増加。笹川謙ファイナンスユニットジェネラルマネージャーは「装置が何の用途に使われるかはわからない」としつつも「車載向けレガシーと言われる需要もＦＳ事業に寄与している」との認識を示す。

ＦＳ事業は、装置の改造や部品の交換などのアフターサービスが中心。既存技術を活用できるため、新規装置事業と比べて利益率が高い。改造サービスの拡大は、装置メーカーの収益率向上の一助になり得る。

ただ、装置市場の投資をけん引するのは、回路線幅５ナノ、７ナノ、１０ナノメートル（ナノは１０億分の１）のＩｏＴや５Ｇ向け先端半導体。車載用半導体に使われていると見られる旧世代型装置の投資額も大きくなく、ＦＳ事業が売上高全体に占める割合は約３割にとどまる。

それでも、東京エレクトロンの河合社長は「半導体不足は半導体製造装置メーカーとして困ることではない。新規（装置）、ＦＳ双方の事業にとってプラスだ」と語る。

５ＧやＩｏＴ、人工知能（ＡＩ）、車載など、半導体の用途拡大が続く中、装置市場は中長期で成長が期待できそうだ。