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半導体微細化に貢献…リンテック、EUVペリクル量産へ
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“次世代EUVペリクル”25年にも実用化、三井化学が半導体微細化に対応
# ペリクル
富士フイルムが45億円投資、半導体材料を増強
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存在感増すラピダス、2ナノ半導体量産へ打つ布石
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