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半導体装置向け真空ポンプの生産能力４割増、島津製作所が決断した背景

2022年01月03日 テクノロジー
半導体装置向け真空ポンプの生産能力４割増、島津製作所が決断した背景
島津がシェア４割を握るターボ分子ポンプ。半導体製造装置向けに需要が拡大している
  • 半導体装置向け真空ポンプの生産能力４割増、島津製作所が決断した背景
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