熊本地震で被害を受け工場を停止していた半導体各社で、復旧が想定以上の早さで進んでいる。三菱電機は２１日、熊本県合志市のパワー半導体工場の一部生産を５月９日に再開する予定だと発表した。２５日に生産再開見通しを公表するとしていた東京エレクトロンは、当初見通しより早い２５日から熊本県合志市の生産拠点を段階的に稼働させる計画だ。ルネサスエレクトロニクスも２２日に熊本市のグループ工場で稼働を一部再開する。

　三菱電機は同菊池市の液晶工場でも生産再開に向けた作業を始めており、月末までに再開見込み時期を示す。東京エレクトロンはまずは生産子会社の東京エレクトロン九州（熊本県合志市）の主力工場である合志事業所（同）の復旧に集中。２１日は作業に携わる社員が出社した。

　同事業所では半導体製造装置や、フラットパネルディスプレー製造装置を生産する。２５日から段階的に生産を再開し「徐々に通常稼働に近づけていく」（広報担当者）方針だ。一方、大津事業所（熊本県大津町）では確認作業を続ける。

　ルネサスエレクトロニクスは当初、生産子会社ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリングの川尻工場（熊本市南区＝写真）の生産再開日程を２１日に公表するとしていたが、２０日に前倒しして、２２日に再開する方針を示した。ルネサスは工場が大きな被害を受けた東日本大震災を経てより強固な事業継続計画（ＢＣＰ）を策定した。今回はＢＣＰが機能し、早めの復旧につながったようだ。

　一方、ソニーの生産子会社ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング（熊本県菊陽町）は熊本テクノロジーセンター（同）の稼働再開に向けた確認作業を続けている。同拠点では画像センサーを手がけている。

　半導体は種類によって生産プロセスに差がある。このため「装置の条件設定が複雑なラインの場合は、通常稼働までにある程度の時間がかかるのではいか」（半導体装置メーカー関係者）との声もある。