東北大学の戸田雅也准教授らは、ダイヤモンド量子センサーでシリコン製微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）の応力を検出することに成功した。シリコン製の片持ち梁（はり）構造にナノメートルサイズ（ナノは１０億分の１）のダイヤモンド結晶を固定する。片持ち梁が振動して発生する応力を光学的に検出できた。量子センサーとＭＥＭＳの融合技術になる。

ＭＥＭＳの表面にナノダイヤの微粒子を噴霧し、その上に二酸化ケイ素を成膜する。すると片持ち梁の表面にナノダイヤがまばらに固定される。ナノダイヤには窒素空孔中心が導入されており、光検出磁気共鳴計測でスペクトルが得られる。

ＭＥＭＳを振動させて、ナノダイヤに圧縮応力や引張応力がかかった瞬間を計るとスペクトルのピークがずれていた。ずれをモニタリングするとＭＥＭＳの機械振動や応力を観測できる。センサーなどの開発につなげる。