東レエンジニアリング先端半導体ＭＩテクノロジー（横浜市港北区、佐藤謙二社長）は５日、半導体製造工程の顕微鏡で行う高倍率検査において、同社従来品比約２倍の検査速度を実現した半導体ウエハー外観検査装置を発売したと発表した。消費税抜きの価格は約１億７０００万円。高精度・高効率な検査ニーズが高まる車載用半導体などを手がける顧客に提案し、２０２５年度に２５億円の売上高を目指す。

新製品「インスペクトラＳＲ―Ⅳ」は、レーザー光源や受光部などの光学ヘッドを新開発し、５―２０倍の高倍率検査で検査速度を約２倍に高速化。

従来手動だった光学条件の調整・設定は、自動設定機能を追加して作業効率を高めた。

同社のインスペクトラシリーズは後工程向けの販売実績が豊富だが、新製品では前工程向けへの拡販も狙う。

半導体の高性能化で検査の高精度化が求められる一方、検査時に倍率を高くすると顕微鏡の視野が狭まり、検査の長時間化、効率悪化などにつながることが課題だった。