日本タングステンと理化学研究所は、波長２３０ナノメートル（ナノは１０億分の１）の遠紫外発光ダイオード（ＬＥＤ）光源を共同開発した。１・２ミリ×１・３ミリメートルサイズのＬＥＤチップは実装状態の連続動作で出力１・１ミリワット、パルス動作で同２・７ミリワットを実現した。複数光源で放物面鏡を備えたモジュールとともに、人体に無害でウイルスを不活化する装置として実用化する。

医療・衛生機器のコア部品として展開を見込む。不活化効果や人体への影響について大学と研究し、２０２５年の製品化を目指す。

チップを８０個並べたパネルでは連続動作８８ミリワット、パルス動作２１０ミリワットの出力に達した。正孔（ホール）が流れるｐ型半導体側への分極ドーピング層の導入でホール伝導特性を大幅に改善。透明コンタクト層の導入で光の取出効率を向上した。

同社は波長２００ナノ―２３５ナノメートル領域の紫外光を遠紫外線と位置付け、深紫外線に比べて皮膚や眼への影響が小さいとみる。