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「半導体研磨材料」生産能力1.5倍、富士フイルムが150億円で新工場

富士フイルムは台湾・新竹市に半導体材料の工場を建設する。子会社を通じて取得した土地に新設し、2026年春をめどに稼働させる。既存工場(台南市)でも設備増強を計画。新工場建設と設備増強を合わせた台湾拠点への総投資額は約150億円を見込んでいる。一連の投資によって、半導体研磨材料(CMPスラリー)のグローバル生産能力を現状比1・5倍に高める。

新工場はCMPスラリーに加え、フォトリソグラフィー周辺材料も生産する。既存工場に近接し、最新鋭の製造設備や品質評価機器を導入するほか、オフィス機能を新工場に統合し、工場間の連携強化を図る。また、台南市内の台湾第3工場(写真)で建設中の新棟にCMPスラリーの製造設備などを導入し、24年春に稼働させる予定。

富士フイルムは先端半導体製造向けを中心に材料を展開している。CMPスラリーは半導体の表面を均一に研磨するために使用される。台湾、米国、韓国で製造するほか、24年からは熊本県菊陽町での生産を計画している。


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日刊工業新聞 2023年05月18日

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