ニュースイッチ

レゾナックが量産、「SiCエピウエハー」新ハイグレードの性能

レゾナックは、パワー半導体炭化ケイ素(SiC)エピタキシャルウエハーの第3世代のハイグレード製品の量産を開始した。新構造のエピタキシャル技術を用いてウエハー品質をさらに改善した。6インチ品と8インチ品で提供する。高価格帯の電気自動車(EV)や鉄道での利用を想定する。

第3世代のハイグレードエピウエハーは、ウエハー品質の改善によりSiC基板内の欠陥の拡張を防ぎ、高い電流密度で電流を流した際にも高い信頼性を実現する。高出力と省スペースを両立する次世代パワー半導体の実用化に貢献する。

SiCパワー半導体は、従来のパワー半導体に比べ電力変換時の電力損失や熱の発生が少なく、EVや再生可能エネルギー分野で需要が急増している。

SiC基板上にエピ層を成長させたSiCエピウエハーはSiCパワー半導体の主要材料。レゾナックは世界最大手のSiCエピウエハー外販メーカー。

日刊工業新聞 2023年03月02日

編集部のおすすめ