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SCREENが半導体の国際研究機関と共同で開発する技術

SCREENが半導体の国際研究機関と共同で開発する技術

9日の調印式。後列左から時計回りにベルギー王国フランダース政府首相のヤン・ヤンボン氏、SCREENホールディングス会長の垣内永次氏、SCREENセミコンダクターソリューションズ社長の後藤正人氏、imecCEOのルク・ファンデンホーブ氏

SCREENホールディングスは、ベルギーを拠点とする半導体の国際研究機関imecと、環境性能が高い半導体製造技術の共同開発契約を結んだ。先端半導体にも対応できる技術の確立を目指す。今後、両者でSCREENが手がける洗浄装置やコーターデベロッパーの性能などを検証。品質向上やコスト、環境負荷低減につながる開発を進める。

9日の契約締結式でルク・ファンデンホーブimec最高経営責任者(CEO)は、日本で研究開発施設を設ける可能性について「現在、協議している」と発言した。

SCREENとimecは2002年から半導体関連技術の開発で連携してきた。今回、SCREEN傘下で半導体製造装置事業を手がけるSCREENセミコンダクターソリューションズ(京都市上京区)とimecが共同開発契約を更新した。23年に枚葉式洗浄装置「SU―3200」をimecに納入し技術者を派遣するなどして、共同開発を実施する。

imecは6日に、トヨタ自動車ソニーグループなど日本の主要企業8社が8月に設立した、次世代ロジック半導体の国産化を目指すRapidus(ラピダス、東京都千代田区)とも研究開発で協力覚書(MOC)を結び、日本の半導体産業への関わりを強めている。

日刊工業新聞 2022年12月10日

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