静岡大学の根尾陽一郎准教授と名古屋市立大学の松本貴裕教授らは、全固体遠紫外光源を開発した。波長は２３０ナノメートル（ナノは１０億分の１）。肌の表面で吸収されるため人体に安全。水銀を含まず、小型化できる。農場や畜舎、医療施設などの殺菌に提案していく。

炭素材料のグラフェンを電子放出源とし、マグネシウムアルミニウム酸化物蛍光体に加速電子を衝突させる。すると２３０ナノメートルの遠紫外線が放出される。蛍光体中で酸素が抜けた空孔欠陥の数を制御し、遠紫外線への変換効率を高めた。

大腸菌に照射し殺菌できることを確かめた。遠紫外線は皮膚の角質層に吸収される。そのため角質層の下にある生きた細胞の層までは届かない。

ランプ寿命は約１０００時間でランプ効率は１％。今後、真空度を１ケタ改善して寿命を１０倍に延ばす。効率は蛍光体の調整で１０倍までは向上する見込み。

従来のエキシマランプはガス放電を利用して発光するため寿命が短かった。