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韓国向けフッ化水素83%減、日本は規制強化後初の輸出許可か

 財務省の7月の貿易統計(品目別)によると、半導体の洗浄に使われるフッ化水素の韓国向け輸出量が、前年同月比82・4%減の479トンとなった。輸出額ベースでは同35・5%減の4億97万円。フッ化水素は、日本政府が7月4日に韓国向け輸出管理を厳格化した半導体材料3品目のうちの一つ。日本政府による韓国向け輸出管理の厳格化が影響した。

 一方、日本政府は半導体の製造過程で用いられるフッ化水素の韓国への輸出を規制強化後初めて許可したと、ロイター通信など複数のメディアが報じた。

 日本政府は今年7月、半導体などの製造に必要なフッ化水素など3品目について、韓国に対する輸出規制を強化。その後、規制対象の1つであるレジスト(感光材)の輸出は2回承認されている。

 先に許可したレジストは半導体の回路パターンを転写する工程に使う。極端紫外線(EUV)光源など最先端プロセス向けの材料で、本格的な量産に至っておらず、そもそも韓国の半導体メーカーへの影響は少ないとみられる。一方、残る対象のうち、フッ化水素は現行のプロセスで多用し、しかも保管・貯蔵が難しいことから、輸出許可が出ないと生産計画の変更を迫られることになる。

 半導体材料3品目のうち、フッ化ポリイミドとレジストの2品目は貿易統計上、複数品目にまたがっており、財務省は数量や金額が集計できないとしている。
                 
日刊工業新聞2019年8月30日の記事に加筆

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