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半導体製造用ガス
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鉄道貨物輸送伸び悩み…2024年問題でトラック代替期待も、需要低迷の背景
# 輸送
“次世代EUVペリクル”25年にも実用化、三井化学が半導体微細化に対応
# ペリクル
半導体ガス長距離輸送、ジャパンマテなど鉄道併用を実証する狙い
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