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ナノインプリント露光装置
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キヤノンと東芝をさらに接近させる次世代半導体装置
# ナノインプリント露光装置
「顧客ごとにナノインプリントに対する興味のポイントが違う」(キヤノン執行役員)
# ナノインプリント
キヤノン、半導体露光装置の生産能力を1.5倍へ。攻めに転換
# 半導体露光装置
東芝、キヤノンと共同開発の次世代露光装置を17年度から半導体メモリー量産に導入
# キヤノン
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