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超高平坦ウエハー増産、カーリットHDが0.1マイクロメートル技術を確立

2024年03月16日 テクノロジー
超高平坦ウエハー増産、カーリットHDが0.1マイクロメートル技術を確立
超高平坦ウエハーの生産体制を強化（平坦度測定機）
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