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# 日本原子力研究開発機構
# シリコン酸化膜
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# 吉越章隆研究主幹
# スプリングエイト
原子力機構がシリコン酸化膜の成長メカニズム解明
2022年12月23日
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大型放射光施設「SPring―8」の高輝度放射光を使用
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