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体積1000分の1「業界最小」の超音波センサー、TDKが量産
3・5ミリメートル角の1チップサイズに超音波の送信・受信機と後工程の信号処理部を格納
2019年07月03日
テクノロジー
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MEMS技術を活用して量産を始めた超音波センサー「CH―101」
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