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# NAND型フラッシュメモリー
# クライオエッチング
東京エレクトロンが研究開発先行…NANDに新技術､｢クライオエッチング｣導入の現在地
2024年09月12日
テクノロジー
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クライオエッチングでは東京エレクトロンとラムリサーチがしのぎを削る（ラムリサーチのクライオエッチング装置チャンバーのイメージ
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