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# 産業技術総合研究所
# 半導体製造装置
半導体製造に新潮流を作り出す、「ミニマルファブ」を知っていますか?
2023年05月06日
テクノロジー
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産総研臨海副都心センターのミニマルファブ拠点
ハーフインチウエハーを密封するミニマルシャトルを備えており、クリーンルームが不要の製造工程を目指している
IoTデバイスを収めたハーフインチウエハー
「我々がリーダーシップを持ってこの製造方法を広める主体になる」と強調する居村代表取締役
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