ニュースイッチ

300mmGaNウエハーに回路形成…パワー半導体大手、世界初の成功

独インフィニオンテクノロジーズが実現
300mmGaNウエハーに回路形成…パワー半導体大手、世界初の成功

インフィニオンが成功した300mmのGaNウエハー

パワー半導体大手のインフィニオンテクノロジーズは世界で初めて、300ミリメートルの窒化ガリウム(GaN)ウエハーに回路形成することに成功した。半導体ではウエハー口径が大きくなることで、一度に製造できる半導体の数が増え、価格低減につながる。近年、インフィニオンはパワー半導体分野を強化しており、GaNだけでなく、シリコンや炭化ケイ素(SiC)でも製品を揃える。

製造は同社のオーストリア・フィラッハ工場で行った。既存のシリコン向けの300ミリメートルパイロットラインを、GaN向けに転用して実施。シリコンウエハー上に均質なGaN層をエピタキシャル成長させて実現した。今後、需要に応じてGaNの製造能力拡充も検討する。

GaN半導体は電力損失が低く、スイッチング性能も高いため、搭載するデバイスの高効率化・小型化が期待できる。


【関連記事】 パワー半導体の規模拡大に消極的だった富士電機が攻めに転じたワケ
日刊工業新聞 2024年09月17日

編集部のおすすめ