需要変動対応　自動化も視野

ＳＣＲＥＥＮホールディングス（ＨＤ）の彦根事業所（滋賀県彦根市）は、同社が世界シェア首位を握る半導体洗浄装置の主力工場だ。同社は２０３３年３月期に売上高で現状比２倍の１兆円以上を目指しており、売上高の約８０％を占める半導体製造装置事業のマザー工場である彦根事業所が担う役割は大きい。半導体の需要拡大に応じて設備投資を続けており、自動化も推進して生産能力を高める。

ＳＣＲＥＥＮＨＤの彦根事業所は直径３００ミリメートルのウエハーに対応した枚葉式洗浄装置などを生産する。現在、半導体製造装置の生産棟「Ｓキューブ」は５棟あり、このうちＳキューブ４は２３年１月に、Ｓキューブ５は２４年１月にそれぞれ操業を開始した。これら２棟の新設で、生産能力は子会社のＳＣＲＥＥＮセミコンダクターソリューションズ（京都市上京区）グループの売上高ベースで２２年比４０％増の年５０００億円に拡大した。

Ｓキューブ５では部品配膳に無人搬送車（ＡＧＶ）を活用する。ＡＧＶは床に貼り付けた２次元コードから位置情報を把握し、走行する。２次元コードはレイアウト変更が容易で、ＡＧＶも非固定式の設備。ＳＣＲＥＥＮセミコンダクターソリューションズの木本啓介生産統轄部長は「１０―２０年後の洗浄装置の主流はどのようなものか分からない」と半導体業界の難しさを説明する。半導体は需要変動が大きく技術革新も速いことから、新棟はフレキシブルな製造現場とした。

Ｓキューブ３、４、５では３棟にまたがる形で洗浄装置の一連の生産ラインが構築されている。売れ筋の装置を集中的に生産することで、生産性向上と高利益率の確保につなげている。現在は枚葉式洗浄装置「ＳＵ―３２００」の生産が中心だ。回路の線幅が１ケタナノメートル（ナノは１０億分の１）の半導体向けでは装置内の微細なゴミも問題となることから、各種工夫を凝らす。顧客の先端半導体の生産を支えるため、ＳＣＲＥＥＮＨＤの生産工程においても独自の方法でパーツやユニットのクリーン度を高く保つ。

相次ぐ生産棟新設で、彦根事業所での増強余地には限界が見え始めた。ただ、そのような中でも半導体洗浄装置の需要は伸び続けており、生産能力向上は依然として課題だ。木本統轄部長は「まずは時間をムダなく有効活用することが必要」と話す。

時間を有効活用して生産できるよう、装置組み立てや機能検査の自動化について検討を始めた。装置の仕様は顧客ごとに異なるため、共通する部位や機能の組み立て・検査から自動化しようとしている。