住友化学は、鉛フリーの圧電薄膜ウエハーで既存の鉛系材料並みの性能を実現した。鉛は欧州特定有害物質規制（ＲｏＨＳ）の対象で、多くの分野で代替が進むが、圧電薄膜材料では鉛系に匹敵する素材がなかった。今後、センサーやアクチュエーター、各種微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスなど用途を探索し、事業化を目指す。

住友化学はカリウムやナトリウム、ニオブからなるＫＮＮ薄膜ウエハーに取り組む。開発したＫＮＮ薄膜の圧電特性の大きさを示す圧電定数（ｅ３１）は、１平方メートル当たり１２クーロン。従来の鉛を含むチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）薄膜並みの性能を実現し、実用化レベルに到達した。

ＫＮＮ薄膜の圧電特性は以前から知られていたものの不十分だった。住友化学は長年研究開発に取り組み、成分組成や薄膜の製造条件を調整し、性能を高めた。寿命はＰＺＴ薄膜よりも優位という。

同社はＫＮＮ薄膜でＰＺＴ薄膜の置き換えを図るため、研究室内の実証設備で薄膜ウエハー以降の微細加工などの後工程やＭＥＭＳミラーなどのデバイスも試作し、関連技術を蓄積する。「実際に駆動するデバイスを見せることで、信頼感を高める」（同社担当者）。顧客への技術支援にも生かせる。必要な加工設備はＰＺＴ薄膜加工とあまり変わらないとみている。

圧電薄膜材料はインクジェット（ＩＪ）ヘッドなどの従来用途に加え、自動運転向けのライダーや仮想現実／拡張現実（ＡＲ／ＶＲ）用ヘッドセットなどで市場拡大が期待されている。