半導体製造装置の活況は２０２３年３月期も続きそうだ。東京エレクトロンなど国内大手４社の２３年３月期連結売上高の合計は約３兆５６００億円と、２２年３月期を約１７％上回る見通し。増収率は前期実績の同約３７％より縮小するが、半導体の需要拡大に生産が追いつかない状況で、各社は強気の姿勢を崩していない。

東京エレクトロンは半導体の回路を形成する前工程の製造装置市場について、２３年３月期に「前期比２割程度の成長を見込む」（河合利樹社長兼最高経営責任者〈CEO〉）と説明。今期の半導体向け新規装置の売上高を前期比約２３％増の１兆８５００億円の見通しとした。

２２年３月期は最先端から成熟世代にわたる幅広い世代の半導体需要の拡大を受け、半導体ウエハーに感光剤を塗って現像する「コータ・デベロッパー」など主力製品の販売が好調だった。今期も「ロジック半導体は先端世代から成熟世代向けまで幅広く投資を見込んでいる。ＤＲＡＭ向け投資も引き続きプラス成長を期待している」（河合ＣＥＯ）。

ニコンは半導体露光装置の販売台数（中古を含む）が前期比２６台増の６１台になる見通し。フッ化アルゴン（ArF）の液浸やドライを中心に新品が伸びる。「自動車や家電などに使われる非先端分野の半導体需要の増加を反映してｉ線の販売台数も拡大する」（德成旨亮取締役）とみる。

後工程の設備を手がけるディスコも３月末時点の受注残高（出荷済みを除く）が約７７８億円と、前年同期（約３７２億円）から２倍以上膨らみ、過去最高を更新した。

アドバンテストは２３年３月期の検査装置の売上高を前期比約２３％増の３５５０億円で計画。半導体の高性能化で試験時間が長くなり、メモリーやロジック半導体向け試験装置の需要拡大が続いていることが背景にある。

四半期ベースで増益率を見ると、２１年度下期から日本勢と海外勢で異なる傾向がある。東京エレクトロンの２２年１―３月期の純利益は前年同期比５０％増。ＳＣＲＥＥＮホールディングス（ＨＤ）は同２・２倍、ディスコも同５４％伸びた。一方、オランダのＡＳＭＬＨＤは同４８％の減益。最先端品の生産装置の検収が遅れた影響もあるが、部材調達の戦略の違いも影響している。

日本の装置メーカーは国内での調達が中心のため、部材不足のリスクが海外メーカーよりも抑えられ、需要の伸びが利益につながりやすかった。今後は積み上がった受注残高を確実に業績の伸びにつなげられるか、部材調達や人材確保の巧拙がさらに重要になってくると見られる。