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「デジタル露光技術」 でじたるろこうぎじゅつ

コンピューター上で設計した回路パターンを半導体ウエハー（基板）に直接焼き付ける技術。現在は回路パターンを描いたフォトマスクに光を焼き付けているが、デジタル露光はマスクが不要。マスク製作の時間を省け、半導体メーカーの研究開発スピード向上に貢献できるほか、コスト面での寄与も期待できる。開発・試作品や少量多品種での採用を目指し、国内ではニコンが開発を進めている。