キヤノン、ナノインプリント半導体装置を「東芝メモリ」に納入

宝の持ち腐れにならないよう、一刻も早く再建問題の進展を

三重県四日市市の東芝四日市工場

 キヤノンは20日、ナノインプリント技術を使った半導体製造装置の量産モデルを、東芝の半導体子会社「東芝メモリ」の四日市工場(三重県四日市市)に1機納入したと発表した。量産モデルを工場に納めるのは初めて。今後、東芝メモリと最終段階の開発を進める。ナノインプリント装置は、型を半導体ウエハーに押しつけて回路パターンを形成する。1回で微細な回路を描けるほか、装置価格も既存の先端露光装置と比べ安く、回路形成工程のコスト低減が期待されている。  量産モデルの回路線幅は11ナノメートル(ナノは10億分の1)で、直径300ミリメートルウエハーを1時間当たり80枚加工可能。複数回の露光を繰り返して微細回路を形成するArF(フッ化アルゴン)液浸露光装置に比べ、コストを64%削減できるという。  キヤノンは2004年にナノインプリント装置の研究開発に着手し、東芝は半導体メーカーとして協力してきた。

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