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ArF液浸
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耐熱性2倍…リンテックがCNTでフォトマスク用防塵カバー開発
# リンテック
オランダASML「ArF液浸露光装置」が好調、新たな輸出規制の影響は?
# ＡＳＭＬ
半導体製造装置23品目が輸出管理対象に…日本企業への影響は?
# 経済産業省
半導体規制で日米蘭連携、装置メーカー「中国事業」に打撃
# 半導体
マイクロンが量産開始、世界最先端のDRAMメモリー半導体の性能
# マイクロンテクノロジー
活況の半導体露光…ASML独走を追うキヤノン・ニコン、三者三様の開発戦略
パワー半導体需要を狙え。ニコンが27年ぶり「i線」露光装置投入
# ニコン
ペリクルって一体なに?半導体回路の微細化に欠かせない「EUV露光」技術
# 半導体
絶好調の半導体装置、メーカーの強気はどこまで続く?
# ５Ｇ
半導体市場の今後は?富士フイルムが100億円の生産投資
# ロードアイランド州
キヤノンと東芝をさらに接近させる次世代半導体装置
# ナノインプリント露光装置
「顧客ごとにナノインプリントに対する興味のポイントが違う」(キヤノン執行役員)
# ナノインプリント
ニコン、回路線幅7nm対応のArF液浸露光装置を発売
# ArF液浸露光装置
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